VDI VDI 2083 BLATT 4.2 PDF

Diese Richtlinie konzentriert sich auf die reinraumspezifischen Energieeinsparpotenziale. Die im Reinraum laufenden Prozesse werden in dieser Richtlinie nur an den Schnittstellen zur reinraumspezifischen technischen Gebäudeausrüstung (Lüftungs- und Klimatechnik und Prozessmedien) betrachtet. Dabei wird vorausgesetzt, dass bei der Prozessentwicklung Energieeffizienzkriterien für einen energiesparenden Einsatz im Produktionsbetrieb soweit als möglich berücksichtigt werden, auch wenn es dafür noch keine standardisierten Vergleichskriterien (z. B. Energielabel) gibt.

Exemplarisch wird in dieser Richtlinie das Einsparpotenzial bei Reinstwasser und Reinstdampf betrachtet. Selbstverständlich gehören auch die Gebäudearchitektur, die technische Gebäudeausrüstung (TGA) für den Umgebungsbereich, die zentrale Energieversorgung des Gebäudes und alle Möglichkeiten zur Wärmerückgewinnung zu einer Gesamtenergiebetrachtung. Da diese Bereiche umfassend in bereits vorhandenen Regelwerken (z. B. VDI 2067, VDI 3807, DIN V 18 599) beschrieben sind, werden auch hier nur die Schnittstellen zum Reinraum berücksichtigt.